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工业产品设计研发

XL-80激光干涉仪 (雷尼绍)

利用激光作为长度基准,对机械装备的位置精度和几何精度进行精密测量。

主要用于坐标测量机(CMM)和机床(轴21项误差)及其它定位装置运动系统轴参数的校准。提高测量设备的自身精度,实现检测的可溯源性。

线性测量分辨率:0.001μm

长期稳频精度:+0.05ppm

线性测量距离:≥40m

最大速度:≥4m/s