主要用于金属材料、非金属材料和纳米材料等多种材料的电子显微学研究，在高真空条件下对样品进行直接的超高分辨显微形貌观察、对微区元素进行定性定量分析。可满足汽车材料、生命科学和半导体等多种领域的检测需求。

主要技术参数：

电子像分辨率≤0.6nm (15kV)，放大倍率100万倍，能谱附件分辨率Mn和Ka优于127eV,元素分析范围 Be4～Cf98。